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ATS

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晶圆级全自动量测解决方案

自动测量系统 软硬协同 多功能测试

ATS是概伦电子基于FS-Pro半导体参数分析仪和自研硬件设备及测量控制软件开发的一套全自动电性量测解决方案。

  • 可根据使用需求灵活的集成多种软硬件，测量涵盖电流电压（IV）、电容电压（CV）、脉冲式IV、高速时域信号采集、低频噪声测试以及多种可靠性测试。

  • 通过概伦自主研发的低漏电矩阵开关和测量控制软件，可支持多种业界主流型号的探针台，实现半自动或全自动的晶圆级测试，适用于多种自动化量测场景。

  • 广泛应用于晶圆级电学参数测试，测量控制软件内建大量电性参数测试设置，可快速实现Vt、Gm、Idlin、Idsat、Ioff、Swing、Cgg等参数的全晶圆器件测试。

  • 适用于器件模型数据测试需求，一套系统即可完成包括IV、CV和1/f噪声等特性的测试，为建立SPICE模型提供全面数据支持和高效高质量的数据产出。

  • 在晶圆级可靠性测试方面，测量软件内置符合JEDEC标准的HCI、BTI、TDDB、Ramp测试算法，并支持多点位测试，保证全晶圆器件可靠性的准确评估。

  • 支持TFT电学特性测试和应力测试，包括TFT转移特性、输出特性、接触电阻、CV特性以及BTS和电流应力测试。

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产品亮点

  • 功能全面

    满足直流IV测试、
    脉冲式IV测试、瞬态时域测试、
    高速波形发生与测量、电容测试、
    低频噪声和可靠性测试等多种需求

  • 快速高效

    保持精度的同时大幅提升测试速度
    支持多通道并行测试
    极大提升了测试效率
    轻松应对高密度测试

  • 灵活搭配

    采用模块化硬件架构
    在保持紧凑机身的同时
    可依照需求扩展
    满足实验室复杂多变的测试需求

  • 友好便捷

    测量控制软件LabExpress
    直观的图形化界面
    用户友好
    扩展性强

  • 功能强大

    内置测试算法库
    完成强大测试分析功能
    允许用户编写脚本
    实现自定义测试流程

  • 软硬协同

    软件能轻松控制多种探针台
    和矩阵开关设备
    方便完成晶圆级数据的
    自动测试任务

产品应用

  • 晶圆级
    电学参数测试

  • 晶圆级
    可靠性测试

  • 器件模型
    数据测试

  • TFT电学特性
    & 应力测试

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